フェムト秒レーザーによるホウ酸塩ガラスへのナノホールアレイの形成：２次元フォトニック結晶作製の試み

抄録

2次元フォトニック結晶に作製に向け、アルカリホウ酸塩ガラス表面にシングルビームのフェムト秒レーザーを照射し、アブレーションにより波長以下の数百nm直径のナノホール配列の作製を試みた。ホール形成のレーザーパルス依存を調べ、ホール形状をAFM及びFIB-SEMで観察した。その結果をもとにフォトニックバンドギャップを計算した。