化学溶液法によるBa(Ti,M)O3 [M: Sn, Zr]薄膜の作製と評価

抄録

現在エレクトロニクス分野で広く実用化されている圧電デバイスを構成する圧電材料の主流はPb系ペロブスカイト型強誘電体であり、圧電製品の破棄処理問題に関する環境問題が懸念されている。その中で無鉛系圧電材料の研究開発は急務かつ必要不可欠であると考えられる。また近年の電子デバイスの小型化高集積化に伴い機能性セラミックスの薄膜化が求められている。以上のことを踏まえ、本研究では代表的な無鉛圧電体であるBaTiO3系セラミックスに注目した。本研究ではBaTiO3のTiサイトへ異種元素(Sn or Zr)のドープを行うことによる電気的特性および圧電特性の制御を目的とし、様々な作製条件がBaTiO3系セラミックス薄膜の特性に及ぼす影響について検討を行った。