日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
第24回秋季シンポジウム
セッションID: 1PR21
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Rfマグネトロンスパッタリング法を用いて作製した(Bi4-xPrx)Ti3O12膜の電気及び構造特性
*岸本 亮小舟 正文西岡 洋
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キーワード: 強誘電体, 非鉛, スパッタ
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抄録
近年, 不揮発性メモリ(FeRAM)などの強誘電・圧電デバイス材料として非鉛系ビスマス層状構造強誘電体(BLSFs)が注目を集めている. チタン酸ビスマス(BIT)は代表的BLSFsの1つでa軸方向の自発分極Psc軸のそれと比較して約10倍も大きく, BLSFs関連物質の強誘電的応用にはa/b軸配向膜が必要不可欠になることから, そのエピタキシャルな配向膜の作製が強く望まれている. しかしながら, BITはその大きな構造異方性のためにa/b軸配向膜の作製が困難であった.
 そこで, 本研究では高温スパッタ法によりIrO2 (101)/Al2O3 (012)基板上にBiサイトの一部をPrで部分置換したa/b軸配向BIT[(Bi4-xPrx)Ti3O12; BPT, x = 0.3-0.9]膜の作製を試みた.
 Pr置換量がx = 0.70のとき, 残留分極(2Pr)は最大で45 µC/cm2を示した. 詳細な構造特性については当日報告する.
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©  日本セラミックス協会 2011
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