エピタキシャルYSZ薄膜を用いた酸素センサの特性におよぼす残留応力の影響

抄録

イットリア安定化ジルコニア(YSZ)を用いた酸素センサ（YSZ酸素センサ）を低温で駆動しようとすると、電気抵抗が高く，応答速度が低下するという欠点がある。しかし、薄膜化することで、低温駆動が可能なことを見いだした。一方、薄膜化することで、薄膜に印加される応力状態も変化する。本研究では応力状態が、YSZの低温駆動に及ぼす影響を検討した。