抄録
マグネトロンスパッタ法により作製した多結晶アナターゼ型TiO2薄膜に関して、as-depoでの薄膜内部応力と光誘起分解特性に関して調べた結果、0.5 GPa 以上の圧縮応力を持つ膜は低い触媒活性を示した。これは，高エネルギー粒子の薄膜成長表面へのボンバードメントによって圧縮応力のみではなく再結合中心となる酸素欠陥も生じるためと考えられる。これらの内部応力はマイクロシートガラスを用いた片持ち梁法によって測定した。さらに、内部応力を持たないTiO2膜をコートしたマイクロシートガラスを強制的に曲げることにより外部より応力を印加した場合、光分解活性は圧縮応力で上昇し、引っ張り応力で低下した。
