インクジェット析出法によるZnOパターンの作製

抄録

従来、セラミックスにおけるインクジェットパターニングでは無機ナノ粒子の分散溶液をインクとして用いるため、パターニング後に高温での二次焼成が必要であり、使用できる基板が限られてしまうという問題があった。これを解決するために我々のグループで開発したのがインクジェット析出法である。これは、加熱した基板上にインクジェットノズルより前駆体溶液を吐出し、直接基板上で結晶化させるパターニング法である。本研究では、透明電子材料やセンサーデバイスなど様々な用途に応用されている酸化亜鉛をインクジェット析出法によりパターニングした結果について報告する。