CSD法チタン酸ジルコン酸バリウム薄膜の電気特性に与える電極構造の効果

抄録

チタン酸ジルコン酸バリウムBa(Zr,Ti)O₃はペロブスカイト構造を有する代表的な強誘電体化合物である。Zrのドープ量に応じて、相転移温度を変化させることが可能である。そのため、非鉛圧電体やチューナブルキャパシタなどへの応用が期待されている。本研究ではCSD法を用いてBa(Zr,Ti)O₃薄膜の作製を試みた。デバイス化の面から安価なSi基板を用い、下部電極兼シード層およびバッファ層としてニッケル酸ランタンLNOを用いた。LNOとBa(Zr,Ti)O₃の熱膨張係数差により生じる圧縮応力がBa(Zr,Ti)O₃薄膜の電気特性に与える効果について調査した。