CSD法によるペロブスカイト型ハイブリッド酸化物電極薄膜の高温特性

抄録

ニッケル酸ランタンLaNiO3(LNO)及びマンガン酸ランタンストロンチウム(La,Sr)MnO3(LSMO)は擬立方晶構造を有した導電性酸化物である。LNOは、Si基板上でa軸優先配向を示し、強誘電体薄膜と格子マッチングが良いため、多くの強誘電体薄膜の配向制御が可能であると期待されている。またLSMOは、高い熱的安定性を有するため高温焼成が可能であると期待される。本研究では、安価で低温合成が可能なCSD法を用いてSi基板上にLSMO/LNOハイブリッド電極薄膜を作製し、ハイブリッド電極薄膜の高温特性評価や、高温処理が非鉛強誘電体薄膜の電気特性に与える影響を調査した。