ECRプラズマ低温酸化によるチタニア膜合成とその生体適合性評価

抄録

RFプラズマなどに比べて高活性なプラズマであるため成膜温度の低温化が期待できる、電子サイクロトロン共鳴（ECR: Electron Cyclotron Resonance）プラズマを用いて金属チタンの改質を行った。成膜条件と結晶構造、微細組織、引っ張り強度および生体適合性との関係を調べた。ECRプラズマ酸化後、基板表面は酸化チタンに変化した。チタニア膜の引っ張り強度は、成膜条件により変化した。チタニア膜はリン酸緩衝液への浸漬により石灰化が進み骨伝導性に優れていることがわかった。