PLD法で作製したスピネル構造を有する導電性酸化物薄膜における電気伝導度と格子体積の関係性

抄録

透明電極とは電気伝導率や可視光透過率が高いことから、ディスプレイや導電性フィルムなどに用いられています。本研究室では透明電極を下部電極とし、その電極上に誘電体や磁性体を積層させることで、光アイソレータといった透明なデバイスへの応用を期待しています。本研究ではスピネル構造を有する金属酸化物材料に着目しました。 　スピネル構造を有する透明電極をPLD法によって作製し、その格子体積と電気伝導率の関係性について調査することを本研究の目的としました。具体的にはMgIn2O4単一物質間およびスピネル構造を有する透明電極材料において、格子体積の変化が電気伝導率とどのような関係を持っているのかを調査しました。