マイクロ波加熱による酸化物透明導電膜の作製

抄録

マイクロ波加熱法は、マイクロ波照射下での自己発熱作用を利用した方法であり、従来の外部加熱に比べ高速・局所加熱が可能である。本研究では2.45GHzのマイクロ波を利用して酸化物透明導電膜の形成を行い、膜の形成条件と電気・光学特性を議論する。