沿面放電による常温・大気圧下での酸化物薄膜の形成

抄録

沿面放電により平面状に発生した大気圧非熱平衡プラズマを基板上の前駆体に照射することにより、基板自体をほとんど加熱することなく前駆体を分解して製膜することができる。ここでは主に、透明導電膜として期待される酸化亜鉛や酸化スズ膜の形成について報告する。