抄録
従来の溶射プロセスでは、数十ミクロン程度の比較的大きなセラミックス粒子をプラズマスプレー中に導入し、基板上に被膜を形成していたため、ボイドやクラックの発生は避けられない問題として残されていた。サーマルナノパーティクルスプレーは、ナノ微粒子を高分子溶媒に高濃度で分散したチクソ性スラリーをミスト化し、プラズマスプレー中に導入する新手法であり、緻密なセラミックス被膜の高速形成が実現する。得られたセラミックス被覆層における微細欠陥の効率よい可視化を実現させる、テラヘルツ波を用いた非破壊検査メソッドについても詳細を述べる。