CSD法によるMnドープBiFeO₃薄膜の作成と組織観察

抄録

本研究ではCSD法を用いてSTO(001)上にMnドープBiFeO₃の製膜を試み、結晶性の向上を図るためにプロセス条件を検討して、MnドープBiFeO₃のナノ構造を調べた。配向性、結晶性、組織の評価はＸ線回折法、透過電子顕微鏡法で行った。組織観察から熱処理条件を探索し、成膜プロセス条件とナノ構造との関係を検討した。