抄録
情報伝達技術の発達に伴ってLow Temperature Co-fired Ceramics(LTCC)材料が移動通信端末機器の小型化・多機能化のKey materialとして注目されている。また(Ba,Sr)TiO3(以降BST)は高い誘電率、優れたチューナブル特性を持つため、マイクロ波チューナブルデバイス等への応用が期待されている。しかしながらLTCCに用いるAg等の電極の融点は1000℃以下であり、その温度でのBSTの緻密化は困難である。そこで本研究では、Agを用いた同時焼成によるBST系チューナブル材料の作製を目的として、軟化温度の低いガラス粉末(GP)を添加してBST-ガラスコンポジットの作製を行なった。焼結温度を変えて作製したコンポジットの緻密化や誘電特性に及ぼすガラス粉末の影響について検討した。