希土類元素置換CaZrO₃系ぺロブスカイト型酸化物薄膜の蛍光特性

抄録

近年、化学的に安定なTi系ぺロブスカイト型酸化物薄膜で赤色の交流電界発光が得られた。RGB３原色のELを薄膜で得るため、他の母体材料に希土類元素を添加し紫外線励起によって蛍光薄膜を得る研究を行っている。今回、粉体で優れたRGB３原色の蛍光特性が報告されているCaZrO3に着目し、パルスレーザー堆積法によって薄膜を作製し、RGB３原色の蛍光を得たので報告する。