高機能性微粒子セラミックス材料の低温合成

抄録

粒径10nmから150nmのチタン酸バリウム粒子（ＢＴＯ）を水熱合成法により、約10nmの制御幅で工業的に安定的に合成出来るように開発した。この粒子はモルフォロジー特性が最適化されており、粒度分布が狭い。これらの特性は、この粒子を使用した積層セラミックコンデンサ（ＭＬＣＣ）を作る際のシートの薄膜化に貢献すると考えられる。またこうしたナノサイズのチタン酸バリウム粒子は市場に十分な量出回っていないが、今後誘電体薄膜やＦＰＤ材料、圧電素子用など様々な応用が考えられる。微細で分散性が良い高機能な粒子を湿式合成で作るためには、核の発生制御や成長制御といった極めて高精度な制御技術が必要とされる。