抄録
有機金属気相析出法によりLiCoO2膜をAl2O3およびSiO2基板上に合成した。LiおよびCo原料にジピバロイオメタネートを用い、成膜温度を923から1073 K、炉内圧力を0.4 kPaとした。LiとCoの原料供給量比（Li/Co）が1から2の範囲で、Li2CO3やCoOなどの不純物を含まないLiCoO2単一相膜が得られた。X線回折ピーク強度から、得られたLiCoO2膜は（003）配向し、そのLotgering factorは0.87であった。SEMによる表面および断面組織観察では、正六角形の柱状構造がみられた。
