アパタイト構造La_9.33(Si₆O_24-xN_x)O₂:Gd³⁺酸窒化物薄膜の作製と蛍光

抄録

蛍光灯用蛍光体アンチモン、マンガン添加ハロリン酸カルシウムはアパタイト構造を持つことが知られている。最近、同じアパタイト構造をもつLa_9.33(Si₆O₂₄)O₂:Gd³⁺を部分的に窒化すると、酸化物よりも酸窒化物の方が強い紫外線の蛍光を示すことが見出された。無機ELデバイスなどへの応用へ向け、本研究ではRF-スパッタリング法によって酸化物蛍光体薄膜La_9.33(Si₆O₂₄)O₂:Gd³⁺を作製した。それをさらにNH₃雰囲気で窒化することにより酸窒化物蛍光体薄膜La_9.33(Si₆O_24-xN_x)O₂:Gd³⁺を作製した。得られた酸窒化物薄膜は254nmの紫外光照射下において、313nmの強い紫外線の発光を示した。今回作製した酸窒化物薄膜サンプルに対して発光機構の考察を行った。