抄録
PLD法により形成されたGdBCO超電導層の微細構造を、SEM、TEMおよびFIB-SEMデュアルビームシステムにより解析した。TEM観察から、GdBCO層の大部分はc軸配向結晶であるが、一部、突起物が存在する。これらの突起物はa軸配向粒子およびc軸が基板鉛直方向に対し傾斜しているGdBCO結晶および、マトリックスと比較しab面内で45°回転しているc軸配向結晶の3種類に分類できた。さらに、EDS元素マッピング結果を併用し、c軸が傾斜したGdBCO結晶および45°回転したc軸配向結晶と母層のc軸配向結晶の間にCuOが存在することを確認した。また、FIB-SEMの3次元構築により、突起物、CuO等の分布を明らかにし、異相と突起物の形成に関しての知見を得た。
