圧電セラミックスにおける反電界効果と振動解析

抄録

圧電セラミックスを用いて矩形板状振動子と角柱状振動子を作製した。共振周波数近傍のインピーダンスと長辺方向伸び振動と縦振動との振動速度を測定した。横効果および縦効果の振動における反電界効果の解析により、定電圧駆動における縦効果の歪の理論式を導いた。振動子の長辺方向だけでなく、短辺方向の振動も考慮して歪の式を計算することで、長辺方向の歪の反共振周波数のシフトや一次共振周波数近傍における短辺方向の歪の極大や極小を表現できた。これにより長辺方向と短辺方向のそれぞれが寄与する振動を分離することが可能になった。最小二乗フィッティングを行うことで圧電特性の評価を行なった。