超音波流量計設計のための超音波伝搬解析

抄録

半導体製造装置用の超音波流量計を開発するため、流体を満たしたパイプを伝搬するガイド波の解析を行った。周波数を適切に設定することにより従来より高精度な流量計を設計できることが示された。