抄録
チタン酸バリウムBaTiO3（BTO）は高い誘電率を持つために積層セラミックコンデンサなど様々な応用がなされている。しかし、BTOの誘電特性は温度により大きく変化するため、改善する必要がある。そこで、BTOのAサイトのBaをCaに置換したチタン酸バリウムカルシウムBa1-xCaxTiO3（BCTO）に注目した。薄膜化することによって基板の効果を利用し、バルクの特性を超える材料設計が可能である。本研究ではSi基板上にCSD法によりLaNiO3（LNO）下部電極を作製し、さらにLNO/Si基板上にスパッタリング法でBTO薄膜とBCTO薄膜を作製して誘電特性、強誘電特性を調査した。
