日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
2011年年会講演予稿集
セッションID: 3A10
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ダイナミックオーロラPLD法による磁場印加成膜したホモエピタキシャル成長SrTiO3薄膜の応力誘起強誘電性
*山下 清隆坂元 尚紀符 徳勝木口 賢紀篠崎 和夫鈴木 久夫脇谷 尚樹
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抄録
ペロブスカイト構造を有するSrTiO3は極低温においても相転移しない量子常誘電体である。しかし、成膜中に磁場印加が可能なダイナミックオーロラPLD装置を用いて磁場印加成膜を行うと、ホモエピタキシャル成長SrTiO3薄膜においてP-Eヒステリシスループにおいて強誘電性が発現することを見出した。また、作製した薄膜はSr大過剰な組成であった(Sr:Ti = 1.4:1)。しかし、他の条件(組成Sr大過剰で0 G成膜、組成定比で0 G成膜、組成定比で2000 G成膜)では強誘電性を示さなかった。このことから、強誘電性を示す条件は、組成Sr大過剰、成膜時の磁場印加の2つの条件が同時に揃っていることが明らかとなった。さらに本研究では、磁場印加条件下で作製したSrTiO3薄膜において、誘電率温度依存性の観点から強誘電性の発現を検討した。
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©  日本セラミックス協会 2011
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