エアロゾルデポジション法で形成される接合界面の微構造分析

抄録

エアロゾルデポジション法（AD法）は、エアロゾル化したセラミックスの微粒子を高速で吹きつけることにより、基材上に緻密で高強度のセラミックス膜を形成させるプロセスである。またAD法で作製した膜（AD膜）は、溶射法等のセラミックス膜形成プロセスで得られる膜よりも密着強度が高い。AD製膜前後での基材表面の微構造の変化をレーザー顕微鏡、走査型電子顕微鏡にて観察し、AD膜の高い密着強度が発現する理由を、変化を分析した結果から考察した。