抄録
金属表面で誘起される局在表面プラズモン共鳴を利用することによって、レジストをナノサイズでパターニングできることが知られており、これまで金のボウタイ構造によって作られる数nmのギャップ間に生じる表面プラズモン共鳴によって誘起される増強電場を用いて光感応性を有する有機-無機ハイブリッド材料のナノ加工が可能であることを明らかにしてきた。一方、表面プラズモン共鳴は金属表面で干渉をすることから、それを利用することによって光の回折限界を超える微細な加工が可能であることが報告されている。本研究では、プラズモン共鳴の干渉を利用することにより微細なパターンをフォトリソグラフィによりTiO2-有機ハイブリッド材料において作製し、TiO2のナノパターンを簡便に作製する方法を検討した。
