有機・無機ハイブリッド薄膜の高屈折率化と厚膜化に関する研究

抄録

ゾル－ゲル法によりチタニア•ヒドロキシプロピルセルロース（HPC）ハイブリッド薄膜を作製し、出発溶液におけるHPC量、HCl量、H2O量がハイブリッド薄膜の屈折率、亀裂発生を伴わない限界厚さ、硬度に及ぼす効果を調べた。HPC量の増加とともに、亀裂発生を伴わない限界厚さは増加するが、屈折率は減少した。HCl量の増加とともに限界厚さは減少し、屈折率は増加した。H2O量の増加とともに限界厚さは一旦増大した後減少し、H2O/Ti(OC3H7i)4モル比≒1.13において極大値を示した。一方、屈折率はH2O量を変化させてもあまり変化しなかった。