抄録
ジルコニア成膜において緻密膜が形成できた、湿式製法による1種類のジルコニア粉と乾式製法による5種類のジルコニア粉の6種類の成膜のＸ線回折を行った。その結果、全てのAGD成膜において、単斜晶のピーク以外に、高温相である正方晶のピークが観察された。特に顕著に表れているのが、右図の7.4μm粉を使用した場合である。また、全てのAGD成膜のＸＲＤピーク強度において、単斜晶の第１、第２の［－１１１］と［１１１］の強度ピークが、逆転していた。
AGDの成膜メカニズムを調べる目的で、ノズルから噴射される粒子が基板上で成膜される様子を観察したところ、発光を伴っていることが発見された。
常温成膜法であるAGD法による形成膜において、高温相が出現したこと、粒子の衝突堆積時に発光現象が観察されたことなどは、AGDの成膜メカニズムに、大いに寄与・関係していると考えている。
