ナノ厚さを持つAl2O3連続チューブの製造と力学的特性の特徴

抄録

厚さが10nm前後のAl₂O₃をコーティングした材料は電子デバイスや構造部材表面コーティングなど幅広い分野で利用されている。一方、このようなコーティング層の力学特性は基材と一体になったものを測定し特性を推定するという間接な方法が用いられている。従って、測定した値自体はコーティングシステムとしての値にならざるを得ない。本研究ではフリースタンディングの状態にある厚さが10nm程度のAl₂O₃の力学特性を検討することを目的とし、力学試験を行うことが出来る10nm～数100nmの壁の厚さの連続状チューブを作製する方法、及び力学特性の測定方法を検討した。