抄録
NITE法とは粒径30nm程度のSiC超微粒子と先端SiC繊維を使用することで，従来の液相焼結（LPS）法では，不可能とされていた低温（～1800℃）での繊維束間の微細な空隙に至るまで結晶性の高いSiC マトリックスを緻密に充填することを繊維・界面の損傷無しに可能としたプロセスである。このNITE法によるSiCの焼成では積層したSiCグリーンシート又はSiCプリプレグシートのプリフォームを製作し焼結を行うが、これらのシート中にはバインダー及び焼結助剤が添加されており、プロセス中における挙動が最終成型品の機械特性に大きな影響を与える。焼成時におけるバインダー剤の熱分解過程および製作した試料に含まれる添加元素の組成変化を知ることはNITE法の成型技術の高度化に非常に重要である。そこで本研究ではSiCグリーンシートの熱・化学分析を行い、各試料の組成変化を調査した。
