抄録
セラミックス薄膜の性質を決定づける化学組成、結晶学的または微構造的因子は、成膜プロセスに大きく依存することが知られている。本研究では、PMNの組成、本焼温度、アニールの有無、及びアニール時の基板の対向の有無等の成膜条件がPMN薄膜の結晶性に及ぼす効果について検討した。いずれの試料からもパイロクロア相は観察されなかった。ロッキング曲線の半値幅は、STO基板が0.45°程度であったのに対して、基板を対向して973Kでアニールを行なったPMN薄膜では0.83°と他の条件よりも良好な結晶性のPMN薄膜を得ることができた。
