表面処理とSm添加がチタン酸バリウムセラミックスの酸素拡散に及ぼす影響

抄録

Sm添加チタン酸バリウムの酸素拡散に関する研究を行った。はじめにSm添加チタン酸バリウムの酸素拡散は遅い事が考えられ、このような遅い酸素拡散の場合、試料の表面処理が拡散に及ぼす影響を検討した。その結果、化学機械研磨(CMP)による表面処理が研磨に伴う表面近傍の欠陥がなく、良好な結果が得られる事が分かった。CMP処理試料は、通常の機械研磨ー熱処理試料よりも拡散係数が小さく、酸素拡散へのSmの添加効果を研究する理想的な表面処理方法である事が分かった。