抄録
ITO薄膜は優れた導電性と可視領域での高い透明性を持つことから広く注目を集めている。ITOにおける導電性と透明性は、結晶性に大きく依存することが知られている。非晶質薄膜の固相結晶化に関しては、これまでに熱処理や電子ビーム、レーザーなどを照射する研究がなされてきた。アモルファスITO薄膜に関しても、熱処理することで結晶性の良いITO薄膜を得ることが報告されてきた。本研究では、Pulsed Laser Deposition(PLD)法によって室温で成膜したアモルファスITO薄膜の固相結晶化において、ナノインプリント装置を用いて一軸圧縮を印加しながら熱処理した時に結晶成長へ影響を与えることを初めて見出した。
