エアロゾルデポジション法による酸化チタン膜の作製と評価

抄録

エアロゾルデポジション法によりアナターゼ型酸化チタン膜（TiO2）を作製し，膜堆積速度，表面形状，電気的特性を調べた．また，色素増感型太陽電池の電極材料への応用を考慮して，多孔質性膜の作製の可能性を検討するために水溶性がある窒化アルミニウム（AlN）添加した．