抄録
比表面積の大きなSiCナノ粉末は，“低い”焼結条件（温度，圧力）で緻密なSiCセラミックスの作製のためだけでなく，高純度化によってのみ得られるSiC独自の優れた機能性材料（パワーデバイスやウエハ）の原料としても使用される。これらのセラミックスの物理的及び機械的特性は，ナノ粉末表面の不純物の影響を強く受けることが知られているが，その特性評価は十分になされていない。本研究は，SiCナノ粉末の表面不純物の評価のために，XPS，ラマン分光及びTEMを用いた定量・定性分析及び構造解析を行った。これらの装置を組み合わせることで，SiCナノ粉末の表面数nmに存在する不純物を同定し，定量的に評価できることを示した。
