（平成23年度技術奨励賞受賞講演）Ni内部電極積層無鉛圧電セラミックスの研究

抄録

従来のPZT系圧電セラミックスはNiと共焼結が困難であった。一方、Pbを含まない無鉛圧電セラミックスであれば安価なNiと共焼結できる可能性がある。我々は(K,Na)NbO3系無鉛圧電セラミックスとNi内部電極との共焼結の可能性について調査を行い、還元雰囲気焼成でキュリー点が260 ℃、圧電d33定数が160 pC/Nの圧電特性を得た。同組成を用いてNi積層無鉛圧電セラミックスを試作したところ、2 kV/mmの電界印加時に360 pm/Vの歪み特性が得られた。この歪み特性は、PZT系セラミックスの約1/3程度であるが、一層厚みを1/3にできれば、同等の変位量を実現できる可能性がある。