抄録
ディスプレイにおける外光の映り込み防止やカメラレンズの内部反射によるゴースト、フレア防止のため、反射防止(AR)膜のニーズも高まっている。特に、デバイスの薄型軽量化のため、非球面・高曲率形状への複雑化が進んでおり、従来法に代わる新たなAR膜形成法の開発が求められている。本研究では、ナノメートルオーダーで、精緻に膜厚制御が可能であり、複雑な形状にも均一に製膜可能な交互積層法に着目し、これに低屈折率となることが期待されるメソポーラスシリカナノ粒子を用いることで、低コストかつ簡便な溶液プロセスによるAR膜形成法を探索した。交互積層の層数や積層時の粒子濃度や塩強度で膜厚が制御でき、それによって最適な反射防止特性の膜が作製できることを見出した。
