計算科学手法によるCaZrO₃砥粒の化学機械研磨特性の解明

抄録

本研究では、代替砥粒の候補の一つであるCaZrO₃砥粒によるガラス表面の研磨特性を解明するため、第一原理計算を用いてCaZrO₃表面構造及び電子状態を解析し、CaZrO₃砥粒の研磨特性を検討した。その結果、CaZrO₃(001)表面においてZr原子が表面上に突出し、低価数状態になるということを明らかにした。またこれまで我々が解明した、表面上に露出した低価数状態の金属原子がガラス表面のSi-O結合を弱めるという化学機械研磨メカニズムに基づくと、CaZrO₃(001)表面において突出したZr原子がガラス研磨における活性種になることを明らかにした。