Yb³⁺添加In₂O₃薄膜の作製と光学特性評価

抄録

Yb³⁺添加In₂O₃薄膜をパルスレーザー蒸着法により、異なる酸素分圧下(10～40mTorr)で作製し、温度を変えて(300-1000℃)熱処理を行った。全ての試料は、可視・近赤外域で高い透過性を示した。反射スペクトルの示す干渉ピーク波長から、膜厚と屈折率の波長依存性を調べた。反射率、透過率、膜厚の値からバンドギャップを算出した。X線回折測定より、成膜直後の試料はアモルファス状態であるが、熱処理を行うことでIn₂O₃と同形の結晶構造へ変化することが明らかとなった。370nm励起発光スペクトル測定より、熱処理を行った試料においてYb³⁺の発光が確認された。以上の結果より、ホストに吸収された紫外光が、Yb3+を介して近赤外光へ変換されたと考えられる。