ナフテン酸化合物とアルコキシドを用いたSrO-Al2O3-ZrO2 系薄膜の形成と評価

抄録

簡易な方法で緻密で良質な薄膜を形成する上で、膜厚を大きくすることで亀裂や剥離が生じやすくなる問題を回避することが重要である。本研究では、液相法としてナフテン酸およびアルコキシドを原材料に利用する手法に注目した。組成系として、SrO-Al2O3-ZrO2系を選択して製膜し、熱処理によりに薄膜を得た。本発表では、SrO-Al2O3-ZrO2系薄膜の形成法、形成条件と膜質についての評価結果について報告する。