抄録
調製した化学溶液を前駆体原料にして、高純度なセラミック微粉末や薄膜を析出させる方法は、比較的低温から結晶化反応を促進させることができ、化学組成の精密制御や均一性にも優れるため、強誘電性セラミック材料の合成研究においてもよく利用される。
我々は、アルカリ原料の潮解性を逆利用して、水溶液プロセス中でクエン酸塩架橋を促し、その熱分解によって無機化する手法を提案している。無鉛圧電セラミックス (Na,K)NbO3(NKN)の原料合成に応用した場合には、優れた易焼結性によって低温焼結が可能となり、ホットプレス材に相当する圧電特性を報告した。
本研究では、同手法を用いて基板上に前駆体溶液をスピンコートしたNKN薄膜を合成し、その評価を行った。
