アルゴン・窒素混合ガス雰囲気下でマグネトロンスパッタリングにより作製したAg膜のキャラクタリゼーション

日本セラミックス協会　年会・秋季シンポジウム講演予稿集

2012年年会講演予稿集

セッションID: 1K34F

DOI https://doi.org/10.14853/pcersj.2012S.0.96.0

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アルゴン・窒素混合ガス雰囲気下でマグネトロンスパッタリングにより作製したAg膜のキャラクタリゼーション

*中西由貴

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抄録

企業研究フロンティア講演　ガラス部会

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© 　日本セラミックス協会　2012

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