走査電子顕微鏡におけるライブ像のノイズ低減

抄録

走査電子顕微鏡(SEM)で試料を観察する際には，対象とする領域を探すためにライブ像と呼ばれる応答性の高いリアルタイム表示が用いられる． このライブ像は通常，ノイズが多く視認性が悪い画像であり，適切な観察領域を見つける作業を困難にしている． そこで本研究ではライブ像の視認性向上を目的として，ディープニューラルネットワークによるノイズ低減モデルを作成した． このモデルをSEMに組み込み，ノイズの少ないライブ像を得ることに成功した．これによって，SEMにおいて観察領域の探索を効率的に行うことが可能となる．