タングステンカラーセンターを有するダイヤモンド薄膜の形成と評価

抄録

ダイヤモンド構造中の不純物によって形成されるダイヤモンドカラーセンターは室温での動作が可能な個体発光体として注目されている。現在、カラーセンターを形成する不純物は数種類確認されており、代表的なものはNVセンターを形成する窒素、SiVセンターを形成するシリコンである。上記の不純物の導入方法の一つとして、化学気相成長(CVD)法が挙げられ、熱源としてフィラメントを用いた熱フィラメントCVD法によって製膜されたダイヤモンド薄膜において、タングステン不純物に由来するカラーセンターであるW₅ センターが形成 されていた 。本研究 では 熱 フィラメント 化学気相成長法を用いて、W₅センターを有するダイヤモンド薄膜の形成と評価を行った。