薄膜金属ガラスを用いた2自由度マイクロアクチュエータの製作

抄録

　多自由度なマイクロアクチュエータは，医療機器や情報通信機器など，様々な応用が考えられる．本研究では，過冷却液体域と呼ばれる一定の温度領域で，水飴状に軟化するアモルファス薄膜（薄膜金属ガラス）を，MEMS技術で平面的なマイクロカンチレバとした後，駆動のためPZT薄膜を根元部と中間部に成膜する．その後，YAGレーザで，PZT薄膜の間を局部的に加熱し軟化させることで，屈曲した構造とすることで，2自由度に変位可能なマイクロアクチュエータを製作し，その評価を行った．