抄録
これまで我々は，次世代半導体製造技術に必要な超精密ステージ技術の研究開発を行ってきた．このステージの駆動源として，積層型圧電アクチュエータを用いた非共振型超音波モータを開発し，位置決め精度0.69nmで50mm/sec以上の速度で稼動する超精密ステージ駆動を実現している．この技術を用いてマイクロ－ナノメートル領域の微細な作業を行うために3次元方向に駆動可能な超精密ナノマニピュレータを開発した．開発したナノマニピュレータは，半導体デバイスの電気計測，直接微細加工，細胞操作など様々な用途に対して有用なものである．本講演においては開発した超精密ナノマニピュレータの性能評価について報告する．
