抄録
本研究では微細加工機器を搭載したさまざまな小型自走機械を開発してきた．小型ゆえに自走機械に搭載する機器は摩擦などを受けないような簡素な構造が求められる．前報では機械的共振を利用した微細打ち込み工具（ホッピング工具）について共振励起の方式を変更して工具構造のより一層の簡素化を行い，またさまざまな工具先端形状で加工して得られた微小圧痕について報告した．本報ではホッピング工具を搭載した自走機械に加えて，加工対象となる試料を位置決めするための自走機械を追加した．これによりホッピング加工をXY方向に展開し，試料上に圧痕の集合からなる微細なパターンを形成した結果について報告する．
