抄録
これまでの砥粒を用いた研磨では水晶素板全面を数mmまで薄く加工するため，その後の取扱に問題があることが指摘されている．水晶振動子として利用されるのは数ミリ角の領域であることから，周辺部はむしろ厚い方がその後の取扱が容易となる．そこで，縦軸研磨盤と微粒子流体研磨法を組合せ，水晶素板をconcave型，すなわち凹面状に加工する新しい技術を開発した．上部に設置した研磨パッドの回転数，揺動ストローク，押付圧力および傾斜角，水晶素板の自転数などをパラメータとして研磨実験を行い，厚さ40mm，一辺10mmの角形水晶素板の中央部に，直径7.5mm，深さ22mmのconcave型水晶素板を作成することに成功した．
