抄録
直径5.2mmの円形形状および一辺10mmの角形形状を有する二種類の水晶素板について，片面ラッピング／ポリシングにより薄型化加工を行った．仕上げ加工であるポリシング加工時の加工圧を一定にし面だれを防止するため，メッキ金属を水晶素板の周囲に形成した．角形形状の水晶素板はメッキ金属からの締め付け力が大きいため，角部から破損する頻度が高く，薄型化は困難であった．そのため，水晶素板とメッキ金属との間に間隙を設けるなどの多くの工夫を行ったが，10μm厚までの加工しか行えなかった．一方，円形水晶素板は比較的容易に薄型化加工ができ，メッキ条件および加工条件の最適化により，最終的に3μmまでの加工に成功した．
