抄録
スケール表面上の回折格子の移動量を検出する位置検出センサは、1）焦点深度が長い、2）非常に細い格子周期の配置可能等により、スケールと検出部の調整が容易、高分解能化に適している。しかし、一般に、スケール表面上の回折格子の凹凸形状はガラス表面をエッチングしたのちにクロムを蒸着することによって製作され、エッチングに適した高価な高純度ガラスが用いられている。本研究では、ソーダライムガラス上に2層のクロム膜を設けることにより、安価な回折格子の製作方法を提案した。その結果、従来のエッチングによって作られた凹凸形状と同等な形状の格子が製作できた。
